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DGIST 团队研发微型光学超声传感器，单位面积空气超声响应度提升逾 25000 倍
Miniature optical sensor achieves 25,000-fold higher airborne ultrasound responsivity per unit area
摘要
韩国 DGIST 机器人机电工程系 Sangyoon Han 与 Jaesok Yu 团队开发出可检测空气中 MHz 级超声的微型光学超声传感器，采用硅光子与微机械悬臂结构集成于单一半导体芯片，相关成果发表于 Photonics Research。
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